高精度數字式輪廓傳感器
粗糙度、大量程輪廓測量的復合機型" />

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SER/SPR系列 粗糙度輪廓儀

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  • SPR3000系列 粗糙度輪廓儀
SPR3000系列 粗糙度輪廓儀

SPR3000系列 粗糙度輪廓儀

精度更高，性能更穩定
高精度數字式輪廓傳感器
粗糙度、大量程輪廓測量的復合機型
落地式結構，一體化多層防震結構
3000系列推出的最新系列機臺，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。

搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實時顯示外界溫度，可監控儀器在不同溫度狀態下的精度表現。
 
大量程高精度輪廓傳感器

輪廓測量·高精度傳感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
 
自主研發寬范圍粗糙度傳感器

粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)


項目 規格
  測量范圍   X軸 0-220mm可選
  Z軸 0-620mm可選
  Z1軸 C：0-±30mm可選/R：±620μm
  Z1輪廓線性精度 ≤±（0.6+|0.02H|）μm
  Z1粗糙度指示精度 ≤±（5nm+2.5%）


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